Khi phương pháp mới ra đời, tài liệu đo mặt cắt điện trở được phân tích theo phương pháp các điểm đặc trưng để tìm ra vị trí các ranh giới ngang, và đôi khi thu được điện trở suất lớp nếu đủ dày. Tài liệu đo sâu điện trở thì phân tích bằng so sánh kết quả tại từng điểm với tập đường cong mẫu (Palette) do các nhà lý thuyết biên soạn ra, để chọn cột điện trở suất.

Hiện nay các phần mềm phân tích đo sâu thực hiện xử lý đa điểm. Người sử dụng cần chỉ định tập con các Sounding có mô hình chờ đợi của môi trường tương tự nhau cho một phân tích. Tập con có thể là tuyến hay mảng diện tích, thậm chí tất cả số liệu của vùng. Khi đó chọn ra một điểm có đường cong biểu kiến điển hình, phân tích đơn điểm (1-D Sounding Inversion), sau đó gán mô hình thu được cho các điểm còn lại của tập, rồi phân tích đa điểm (Group Sounding Inversion).

Vì trong phân tích tài liệu thăm dò điện thuộc nhóm đo sâu có nhiều phần giống nhau, nên nhiều hãng phần mềm gộp chung thành "phần mềm phân tích tài liệu thăm dò điện", trong đó mỗi phương pháp thăm dò chiếm 1 modul phân tích, ví dụ phần mềm IX1D của hãng Interpex (Mỹ).[5]

Tài liệu đo ảnh điện thường được thực hiện bằng phần mềm riêng, ví dụ Res2Dinv hay AGI EarthImager 3D.